P31/P34系列壓電偏轉鏡是專(zhuān)為較大直徑鏡片而設計,可加載直徑達80mm的鏡片,它的差分驅動(dòng)在較大溫度范圍內表現出非常出色的角 度定位穩定性。P34系列偏轉鏡允許頂部平臺在具有共同樞軸點(diǎn)(并聯(lián)運動(dòng))的兩個(gè)正交軸上進(jìn)行高動(dòng)態(tài)精密偏轉運動(dòng),多種鏡片安裝面 可選,以獲得對不同鏡片材料的熱適應。開(kāi)環(huán)、閉環(huán)版本可供選擇,所有版本都具有亞微弧度分辨率,且傾斜角度大可達6mrad (等于光束偏轉12mrd)。 可負載大鏡片 P34系列壓電偏轉鏡可負載直徑達80mm的鏡片,實(shí)現12mrad 的光束偏轉。 高穩定性、線(xiàn)性度及動(dòng)態(tài)性、使用壽命長(cháng) 芯明天壓電俯仰/偏轉鏡系統是基于平行運動(dòng)學(xué)設計, 兩個(gè)方向偏轉運動(dòng)共用同一個(gè)移動(dòng)面。內部四個(gè)壓電促動(dòng)器 是成對的差分控制,決定了平臺俯仰/偏轉運動(dòng)。這使得 P34壓電傾斜鏡在較大溫差變化范圍的環(huán)境中具有非常優(yōu)秀 的角度定位穩定性。 內部采用芯明天疊堆型壓電促動(dòng)器可保證高的可靠 性。特殊樹(shù)脂絕緣使其可抵抗環(huán)境濕度及漏電流故障。所以 在可靠性及壽命上遠優(yōu)于傳統壓電促動(dòng)器。 頻率負載曲線(xiàn) 推薦控制器 E00 | E70 | E72 | 頁(yè)碼 157 | 頁(yè)碼 167 | 頁(yè)碼 163 | | | | 3路輸出(1路恒壓) | 3路輸出 | 3路輸出 | 模擬、上位機通信、旋鈕 | 模擬與數字控制 | 數字與模擬控制 | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 平均功率35W/通道 | 平均功率5W/通道 | 平均功率6W/通道 |
特性: • θx, θy二維偏轉 • 大偏轉范圍6mrad • 亞毫秒響應時(shí)間 • 閉環(huán)定位精度高 • 溫度穩定性高 典型應用 • 圖像處理與穩定 • 激光掃描/光束偏轉 • 主動(dòng)及自適應光學(xué) • 光學(xué)濾波器 • 光束穩定 • 多角鏡的誤差修正 P31/P34系列壓電偏轉鏡技術(shù)參數 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P34.T1S P34.T1K | P34.T2S P34.T2K | P34.T4S P34.T4K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | θx, θy | θx, θy | θx, θy | | 標稱(chēng)行程范圍(0~120V) | 1.2或±0.6 | 2.5或±1.25 | 5或±2.5 | mrad±20% | 大行程范圍(-20~150V) | 1.5或±0.75 | 3或±1.5 | 6或±3 | mrad±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 0.1/0.02 | 0.2/0.1 | 0.4/0.2 | μrad | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.1/- | 0.2/- | 0.3/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.02/- | 0.02/- | 0.02/- | %F.S. | 空載諧振頻率 | 2 | 1.4 | 0.9 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 2/1 | 4/2 | 10/4 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 1000 | 500 | 240 | Hz±20% | 行程 | 100 | 50 | 20 | 靜電容量 | 3.6/軸 | 7.2/軸 | 14.5/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | 鋁 | 鋁 | | 重量 | 200 | 400 | 800 | g±5% | 偏轉臺長(cháng)度 | 38 | 56 | 92 | mm±0.1 |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得 |