N20/P21壓電偏擺/旋轉臺為一維θz旋轉臺，產(chǎn)品體積小巧，大旋轉角度8.5mrad，承載能力達2kg，可帶動(dòng)鏡片做精密旋轉運動(dòng)。 N20/P21壓電偏擺/旋轉臺技術(shù)參數： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P21.R7S P21.R7K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | θz | | 標稱(chēng)旋轉角度 (0~+120V) | 6 | mrad±20% | 大旋轉角度 (-20~+150V) | 8.5 | mrad±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 0.4/0.2 | μrad | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.5/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.2/- | %F.S. | 推/拉力 | 10/5 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 1 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 1.1 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 30/1.5 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承載 | 2 | kg | 靜電容量 | 1.8 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 105 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 特性： • θz旋轉 • 大旋轉角度8.5mrad • 閉環(huán)定位精度高 • 響應速度快 • 體積小巧 典型應用 • 光路調整 • 干涉 • 光束掃描 • 計量 應用實(shí)例   P21系列壓電旋轉臺可以與芯明天任意平臺或傾斜臺配合使用， 組成多軸精密壓電定位臺，用于多維精密直線(xiàn)與旋轉定位操作。 小體積、高分辨率、高精度 P21θz一維旋轉臺采用機構放大設計原理，可以實(shí) 現大8.5mrad的旋轉，體積小巧、結構緊湊，尺寸僅 為60×60×15mm，非常易于集成到精密旋轉設備中。 采用壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，臺體采用柔性鉸鏈機 構，無(wú)摩擦、無(wú)回差，可以實(shí)現0.2μrad的分辨率。內 置SGS傳感器配套閉環(huán)控制器可以實(shí)現微弧度的定位精 度，在光路精密角度調整中起著(zhù)非常重要的作用。 驅動(dòng)控制方式 P21為θz一維壓電旋轉臺，單通道壓電控制器即可驅動(dòng)控制，閉 環(huán)版本P21配套E01系列閉環(huán)控制器，實(shí)現θz高精度旋轉定位控制。 |
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