P54壓電偏擺/旋轉臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空 孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統中。 • 微操作 • 掩模與晶片位置調整 應用實(shí)例
P54系列壓電偏擺臺以其超薄的外形、高精度的偏轉已批量應用 于軍事激光武器等領(lǐng)域。 閉環(huán)傳感精度高 P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限 元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無(wú)空回、無(wú)摩擦。 采用壓電陶瓷驅動(dòng)實(shí)現大偏轉范圍±1.1mrad，分 辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現0.1%F.S. 的重復定位精度。 臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為 80×80mm，P54壓電偏轉臺是亞微弧度精密光束調整、 計量、定位等應用的選擇。 負載大鏡片
P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透 射光的應用，負載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。 P54壓電偏擺/旋轉臺技術(shù)參數： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P54.T2S P54.T2K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | θx, θy | | 標稱(chēng)偏擺角度 (0~+120V) | ±0.8/ 軸 | mrad±20% | 大偏擺角度 (-20~+150V) | ±1.1/ 軸 | mrad±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)偏擺分辨率 | 0.25/0.05 | μrad | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.1/- | %F.S. | 推/拉力 | 40/8 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 0.5 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 300 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 20/3.5 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承載 | 1 | kg | 靜電容量 | 3.6/ 軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁、鋼 | | 重量 | 510 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 特性： • θx, θy偏擺運動(dòng) • 開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選擇 • 80×80mm大通孔 • 分辨率高 • 外形超薄 典型應用 • 光束掃描 • 激光合束對準與激光致盲 • 干涉/計量 • 空間擾動(dòng)模擬系統 |
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