XP-721壓電物鏡定位器為小體積常規型壓電物鏡定位器,采用分離式螺紋適配器設計,可與多種顯微鏡配套使用。 技術(shù)參數: 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | XP-721.S XP-721.K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | Z | | 標稱(chēng)行程范圍(0~120V) | 80 | μm±20% | 大行程范圍(-20~150V) | 110 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 10/3 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.2/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.1/- | %F.S. | 推/拉力 | 30/10 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 0.3 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 500 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/2 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 60 | Hz±20% | 行程 | 20 | 大承載 | 0.2 | kg | 靜電容量 | 3.6 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 250 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 特點(diǎn): • 位移行程110μm • 大承載200g • 毫秒級響應時(shí)間 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 聚焦穩定性好 典型應用 • 三維成像 • 干涉/計量 • 表面結構分析 • 共焦顯微 • 生物科技 • 半導體測試 螺紋適配器便于安裝 XP-721壓電物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接,將物鏡快 速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選,如M27×0.75、M26×0.75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等,也可定制,便于與顯 微鏡集成安裝。 快速安裝、高穩定性、長(cháng)使用壽命 XP-721系列壓電物鏡定位器為通用型顯微成像聚焦定位 器,采用壓電陶瓷驅動(dòng),可實(shí)現的掃描范圍為110μm。 倒置光學(xué)顯微鏡 XP-721系列壓電物鏡定位器安裝在倒置光學(xué)顯微鏡中。 |