XP-780系列大行程壓電掃描臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過(guò)疊加轉接的方式 實(shí)現二維、三維運動(dòng)。采用機構放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng)，實(shí)現X軸大220μm的 位移，可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔，適用于光學(xué)掃描。 XP-780系列壓電掃描臺技術(shù)參數： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | XP-780.XS XP-780.XK | 單位 | 運動(dòng)自由度 | X | | 標稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 160 | μm±20% | zui大行程范圍（-20~150V） | 220 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 通孔尺寸 | 25×25 | mm | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 10/5 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <50 | µrad | 推/拉力 | 80/40 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 0.5 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 200 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 20/5 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | zui大承載 | 5 | kg | 靜電容量 | 11 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋁 | | 重量 | 240 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 大行程、高精度、大負載 XP-780系列大行程壓電掃描臺采用機構放大設計原理， 可以實(shí)現zui大220μm的位移行程，無(wú)摩擦無(wú)空回的柔性導向 機構使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實(shí)現納 米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應用。
優(yōu)異的結構設計使其具有非常高的剛度，承載能力大， 可帶載5kg的樣品作精密定位 1~3維掃描臺 XP-780系列壓電掃描臺包括X、XY、XZ、XYZ多種規格 型號，可以自由疊加組合。 XP-780系列壓電掃描臺典型應用
• SPM掃描顯微鏡 • 干涉
• 掩模/晶圓定位 • 計量
• 生物技術(shù) • 表面結構分析
特性 • zui大位移220μm • zui大承載5kg • 通孔尺寸：25×25mm • 閉環(huán)重復定位精度高 • 開(kāi)/閉環(huán)可選 |
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