P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡體積小巧、結構緊湊，可實(shí)現大6mrad偏轉，Z軸40μm的直線(xiàn)運動(dòng)。提供兩軸的高速精密偏轉運動(dòng)及Z軸直線(xiàn)升降運動(dòng)，直線(xiàn)運動(dòng)的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧 度，響應時(shí)間可達毫秒量級。 負載頻率曲線(xiàn) 推薦控制器 E01 | E00 | E70 | 頁(yè)碼 157 | 頁(yè)碼 157 | 頁(yè)碼 167 | 
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| 3路輸出（1路恒壓） | 3路輸出（1路恒壓） | 3路輸出（1路恒壓） | 模擬、上位機通信、旋鈕 | 模擬、上位機通信、旋鈕 | 模擬與數字控制 | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)閉環(huán) | 平均功率7W | 平均功率35W/通道 | 平均功率5W/通道 |
高分辨率、高穩定性及動(dòng)態(tài)性 P32壓電偏轉鏡體積緊湊，內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電 促動(dòng)器，集成在復雜的、FEA建模分析的柔性鉸鏈導向系統。壓電 促動(dòng)器是疊堆共燒型壓電陶瓷，比傳統的壓電促動(dòng)器提供更好的性 能及可靠性。 P32壓電偏轉鏡采用基于平行運動(dòng)學(xué)的壓電陶瓷直驅式三腳架 結構，數十億次的運動(dòng)周期操作而*或性能下降，非常適合 工業(yè)應用。 三腳架結構設計在較大的溫度范圍內提供優(yōu)化的角度穩定 性。這種設計具有體積更小巧、兩軸具有相同的大小及動(dòng)態(tài)性能、 更快的響應速度及更好的線(xiàn)性度等優(yōu)勢，也防止了偏振旋轉。 特性：  • θx, θy偏轉，Z軸升降 • 大偏轉范圍6mrad • 毫秒級響應時(shí)間
• 閉環(huán)定位精度高 • 溫度穩定性高 P32系列Z向/俯仰/偏轉鏡  技術(shù)參數 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P32.ZT4S P32.ZT4K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | θx, θy, Z | | θx, θy標稱(chēng)偏轉角度（0~120V） | 5 | mrad±20% | Z向標稱(chēng)行程（0~120V） | 30 | μm±20% | θx, θy大偏轉角度（-20~150V） | 6 | mrad±20% | Z向大行程（-20~150V） | 40 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)θx, θy偏轉分辨率 | 0.1/0.05 | μrad | 閉/開(kāi)環(huán)Z向直線(xiàn)分辨率 | 1/0.5 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.05/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.02/- | %F.S. | 空載諧振頻率（θx, θy） | 2 | kHz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 5/2 | ms±20% | 閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 500 | Hz±20% | 行程 | 40 | 靜電容量 | 3.6/軸 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼 | | 重量 | 350 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 工作原理   P32偏轉鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機構設計而成的，由三支壓 電陶瓷驅動(dòng)，以120°角平分放置，采用坐標變換，運動(dòng)可以分不 同機構之間控制。這種結構設計除了可實(shí)現平臺的傾斜，也可實(shí) 現平臺Z向的直線(xiàn)移動(dòng)，可以用于校正光學(xué)路徑長(cháng)度。其中， A、B、C表示測量的3點(diǎn)處位移量，兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計 算公式分別如下， 
 典型應用
• 圖像處理與穩定 • 光學(xué)捕獲 • 激光掃描與光束偏轉 • 激光調諧 • 光過(guò)濾/光開(kāi)關(guān) • 光學(xué)/光束穩定 |
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