P72系列壓電物鏡定位器是專(zhuān)門(mén)為物鏡聚焦顯微而設計的，采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計，物鏡補償量較小，具有超高聚焦 穩定性，物鏡定位器裝入顯微檢測/測量或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)物鏡頭聚焦提高精度，可與多種高分辨率的顯微鏡配合使用。  體積小巧、易于集成、高動(dòng)態(tài)、直線(xiàn)性好
P72壓電物鏡定位器體積小巧、結構緊湊，可實(shí)現 大行程110μm的位移。多種螺紋牙連接器可選，易于與其 他光學(xué)顯微鏡等集成。 臺體采用柔性鉸鏈機構，無(wú)摩擦且具有*的分辨 率。由于其空載諧振頻率可達350Hz，且可帶載200g負載 作高速精密運動(dòng)，在光學(xué)掃描、共焦顯微等領(lǐng)域得到廣泛 的應用。 可選擇閉環(huán)版本，實(shí)現超高的定位精度。   頻率負載曲線(xiàn) 推薦控制器
E00/E01 | XE-709 | E53 | 頁(yè)碼 157 | 頁(yè)碼 166 | 頁(yè)碼 171 |  
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| 1路輸出 | 1路輸出 | 1路輸出 | 上位機通信、模擬、旋鈕 | 模擬、上位機通信 | 模擬、上位機通信 | 開(kāi)環(huán)/閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)/閉環(huán) | 開(kāi)環(huán)/閉環(huán) | 平均功率7W/35W | 平均功率15W | 平均功率10W |
P72系列壓電物鏡定位器技術(shù)參數： 型號 | 尾綴S-閉環(huán) 尾綴K-開(kāi)環(huán) | P72.Z100S P72.Z100K | 單位 | 運動(dòng)自由度 | Z | | 標稱(chēng)行程范圍（0~120V） | 80 | μm±20% | 大行程范圍（-20~150V) | 110 | μm±20% | 傳感器類(lèi)型 | SGS/- | | 閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 5/2.5 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.1/- | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.05/- | %F.S. | 推/拉力 | 110/15 | N | 運動(dòng)方向剛度 | 1.4 | N/μm±20% | 空載諧振頻率 | 350 | Hz±20% | 閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 10/3 | ms±20% | 閉環(huán)空載工作頻率 | 10%行程 | 50 | Hz±20% | 行程 | 15 | 大承載 | 0.2 | kg | 靜電容量 | 3.6 | μF±20% | 材質(zhì) | 鋼 | | 重量 | 150 | g±5% |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。 特點(diǎn)： • 大行程110μm • 大承載0.2kg • 毫秒級響應時(shí)間 • 閉環(huán)重復定位精度高 • 開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選 螺紋適配器便于安裝  P72物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接，將物鏡快速鎖定在 預期位置 。 多種螺紋 牙 可 選 ， 如M27× 0. 75、 M 26× 0. 75、 M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36"等，也可定制，便于與顯 微鏡集成安裝。 典型應用  • 三維成像 • 干涉/計量
• 表面結構分析 • 共焦顯微 • 生物科技 • 半導體測試 |
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