P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價(jià)格壓電偏擺/旋轉臺系列是通過(guò)壓電陶瓷驅動(dòng)進(jìn)行精密角度調整，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)結構設計，產(chǎn)品較高的偏轉精度和高的穩定性且響應速度快，是激光光束掃描以及激光合束等光路調整的理想選擇。 P51系列是中心通孔三維θxθyZ軸壓電偏擺臺，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大通孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統中。 P51系列三維θxθyZ向壓電偏擺臺價(jià)格 特性 • ±1.1mrad/軸的θx, θy偏擺運動(dòng)及Z向100μm直線(xiàn)運動(dòng) • 閉環(huán)定位精度高 • 80×80mm大通光孔 • 分辨率高 • 外形超薄 • 響應速度快 閉環(huán)傳感精度高 | 頻率負載曲線(xiàn) | 仿真分析 | P51系列壓電偏轉臺為θx,θy軸偏擺Z軸升降臺，偏轉行程為±1.1mrad，Z軸直線(xiàn)行程可達100μm。 P51偏轉臺臺體采用無(wú)回差柔性鉸鏈導向結構，采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化，具有高的剛度以及導向精度。 可選擇內置精密傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保其具有高的運動(dòng)控制精度，直線(xiàn)運動(dòng)分辨率可達到亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度、定位穩定時(shí)間為毫秒量級。 | 
| 通過(guò)有限元FEA優(yōu)化的鉸鏈用于導向機構偏轉臺。有限元分析技術(shù)用于設計運動(dòng)方向上的剛度，并減少角度偏差。鉸鏈部分允許高精度的運動(dòng)，因為鉸鏈機構無(wú)間隙、無(wú)摩擦。 
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超薄的設計適用于顯微應用且可負載大鏡片 | 產(chǎn)品測試 | | P51壓電偏轉臺中心通光孔達80×80mm，適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。 P51系列偏擺/傾斜、升降臺是專(zhuān)門(mén)為對準、納米聚焦、計量等應用設計的，臺體非常薄，厚度僅為20mm，易于集成到高精度顯微鏡中。 | 
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| 校準調測 | 震動(dòng)實(shí)驗 |
驅動(dòng)方式 P51壓電偏轉臺θxθy兩軸采用90。相差輸入，并配合Z軸升降運動(dòng)，再通過(guò)控制電壓的大小，對于固定的光路距離，可進(jìn)行一定范圍的錐形范圍掃描，如下右圖所示。 
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