P70 系列壓電掃描臺具有兩個(gè)版本，分別為二維 XY 向運動(dòng)、一維 Z 向運動(dòng)。兩個(gè)版本在四個(gè)角的位置都具有四個(gè)通孔，孔心距為 30mm，非常適于籠式結構的安裝。XY 運動(dòng)版本額外具有四個(gè)沉孔，也適于螺紋安裝固定。 | 技術(shù)參數 | 型號 | P70.XY20S ( 放大機構） | P70.XY20K( 放大機構） | 單位 | 運動(dòng)自由度 | X,Y | X,Y | | 行程范圍 | ±8.5（@120V） | ±8.5（@120V） | μm±10% | 傳感器類(lèi)型 | SGS | - | | 閉環(huán)分辨率 | 1 | 0.6 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.3 | - | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.2 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <15 | <15 | μrad | 承載能力 | 300 | 300 | g | 閉環(huán)響應時(shí)間 | 30 | 30 | ms±20% | 空載諧振頻率 | 1.2 | 1.2 | kHz±20% | 加載諧振頻率 | 0.4（53g） | 0.4（53g） | ms±20% | 靜電容量 | 0.8/ 軸 | 0.8/ 軸 | μF±20% | 重量 | 175 | 175 | g±5% |
| 技術(shù)參數 | 型號 | P70.Z8S (直驅機構） | P70.Z8K（直驅機構） | 單位 | 運動(dòng)自由度 | Z | Z | | 行程范圍 | 8（@150V） | 8（@150V） | μm±10% | 傳感器類(lèi)型 | SGS | - | | 閉環(huán)分辨率 | 1 | 0.6 | nm | 閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.25 | - | %F.S. | 閉環(huán)重復定位精度 | 0.16 | - | %F.S. | 俯仰/偏航/滾動(dòng) | <10 | <10 | μrad | 承載能力 | 200 | 200 | g | 閉環(huán)響應時(shí)間 | 30 | 20 | ms±20% | 空載諧振頻率 | 3.6 | 3.6 | kHz±20% | 加載諧振頻率 | 1.5（200g） | 1.5（200g） | ms±20% | 靜電容量 | 1.6 | 1.6 | μF±20% | 重量 | 128.5 | 128.5 | g±5% |
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