XP-780 系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理，柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng)，內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng)，實(shí)現X 軸可達 200μm 的位移，可配置閉環(huán)傳感實(shí)現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm 的通孔，適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過(guò)疊加轉接的方式實(shí)現二維、三維運動(dòng)。
?大行程、高精度、大負載
XP-780 系列大行程壓電掃描臺采用機構放大設計原理，可以實(shí)現 200μm 的位移行程，無(wú)摩擦無(wú)空回的柔性導向機構使其具有超高的分辨率，選擇配置閉環(huán)傳感器可實(shí)現納米級的定位精度，臺體通孔使其適用于顯微掃描等應用。優(yōu)異的結構設計使其具有非常高的剛度，承載能力大，可帶載 5kg 的樣品做精密定位。
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