內部采用 PZT 壓電式驅動(dòng),直線(xiàn)運動(dòng)行程可選 25、50、100mm,可達亞納米級分辨率??蛇x配閉環(huán)伺服傳感器(增量式編碼器),具有更高的定位精度??蛇x移動(dòng)臺面。
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