壓電螺釘運動(dòng)平臺是將直線(xiàn)馬達式壓電螺釘與滑臺相結合,采用壓電螺釘的高精度運動(dòng)控制滑臺運動(dòng)。多個(gè)壓電螺釘運動(dòng)平臺間可通過(guò)組維方式形成二維或三維運動(dòng)控制。
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