三維壓電宏微復合平臺 本次介紹的就是一款宏微復合跨尺度兩級驅動(dòng)的壓電精密定位臺,它的型號為H81A.XYZ20S/K。它可在XYZ三個(gè)方向產(chǎn)生運動(dòng),每軸千分尺行程為4mm,壓電行程為18μm。實(shí)物外觀(guān)如下圖所示。
H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的一端具有移動(dòng)臺面,臺面尺寸為60mm×60mm,在移動(dòng)臺面上配有16個(gè)M3的負載安裝孔。該平臺固定于一個(gè)112mm×112mm的底座,在底座上具有8個(gè)φ8mm及3個(gè)φ6.4mm的通孔,以便于該壓電宏微復合平臺的固定安裝。
H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺采用了手動(dòng)千分尺調節,該千分尺的行程為4mm,單圈調節為500μm。
該宏微復合平臺的壓電驅動(dòng)部分是由壓電陶瓷來(lái)驅動(dòng),施加電壓信號來(lái)控制。通過(guò)芯明天壓電控制器對壓電平臺內部壓電陶瓷施加電壓信號,壓電陶瓷產(chǎn)生相應的位移,再由柔性結構傳遞到移動(dòng)臺面,從而使得移動(dòng)臺面產(chǎn)生微納米級的微位移運動(dòng)。 該部分壓電驅動(dòng)的連接是通過(guò)引線(xiàn)及連接器將壓電控制器與壓電宏微復合平臺相連的。該套壓電系統的引線(xiàn)兩端都采用連接器連接。
三維壓電宏微復合平臺 技術(shù)參數 E01.D3系列壓電控制器驅動(dòng)H81A.XYZ20S/K壓電宏微復合平臺的基本參數如下。 |