壓電物鏡定位器 產(chǎn)品特點(diǎn)
Z 向運動(dòng)
大行程范圍
承載達 0.5kg
可選配閉環(huán)傳感器
位移與電壓曲線(xiàn)
線(xiàn)性度曲線(xiàn)
產(chǎn)品應用
聚焦顯微
激光加工
Z 向定位與掃描
表面結構分析
型號
XD730.400S-B1
XD730.400K-B1
單位
運動(dòng)方向
Z
標稱(chēng)行程范圍(0~120V)
400
μm±10%
行程范圍(0~150V)
500
傳感器類(lèi)型
SGS
-
分辨率
14
4
nm
閉環(huán)線(xiàn)性度
0.2
%F.S.
閉環(huán)重復定位精度
0.05
空載諧振頻率
150
Hz±20%
靜電容量
28.8
μF±10%
承載能力
0.5
kg
重量
520
g±5%
臺體材料
鋁、鋼
注:以上參數是采用E00/E01系列壓電控制器測得。最大驅動(dòng)電壓可在-20V~150V;對于高可靠的長(cháng)期使用,建議驅動(dòng)電壓在0~120V。
壓電物鏡定位器
17051647888
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