XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm XP-780一維X向壓電掃描臺 200μm 中孔25mm×25mm
XP-780系列壓電掃描臺采用機構放大設計原理,柔性鉸鏈連接支撐傳動(dòng),內部采用高可靠性壓電陶瓷驅動(dòng),實(shí)現X軸200μm的位移,可以配置閉環(huán)傳感實(shí)現高精度掃描與定位。壓電平臺具有25mm×25mm的通孔,適用于光學(xué)掃描。平臺可以通過(guò)疊加轉接的方式實(shí)現二維、三維運動(dòng)。 產(chǎn)品特點(diǎn) 一維X向運動(dòng) 行程可達200μm 承載可達5kg 通孔尺寸:25×25mm 閉環(huán)重復定位精度高 開(kāi)/閉環(huán)可選 真空版本可選 |