壓電掃描臺的特點(diǎn)和應用
產(chǎn)品特點(diǎn)：
1-3維運動(dòng)
zui大運動(dòng)范圍370μm
一體式結構設計，多維運動(dòng)無(wú)耦合
zui大透光孔徑35mm
閉環(huán)精度可達0.15%F.S.
應用：
原子力顯微鏡 高分辨率CCD 三維共焦顯微 激光平面干涉 納米光刻 紅外熱成像掃描 光纖對接 納米光刻
壓電掃描臺中心具有通孔，臺體集成高精度傳感器，采用柔性鉸鏈設計、無(wú)機械摩擦、分辨率高。產(chǎn)品主要應用于透光精密光學(xué)器件的定位，生物顯微與顯微成像系統。壓電掃描臺包括一維、二維、三維三種運動(dòng)形式，zui大運動(dòng)范圍可達370μm。P-78壓電掃描臺，采用一體式設計，柔性鉸鏈機構， XYZ三維運動(dòng)無(wú)耦合，無(wú)機械摩擦，響應速度快，滿(mǎn)足不同應用的需求。
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