納米定位臺的特點(diǎn)和應用

　　主要特點(diǎn)

　　高于行業(yè)標準3倍速度：<4ms的階躍穩定時(shí)間和100μm的閉環(huán)位移控制；600Hz的響應頻率；20N/μm的剛度

　　裝備雙傳感器技術(shù)：在不同的負載下無(wú)需重新校準；*的機械帶寬；

　　的ZSY納米傳感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的線(xiàn)性度；0.005%的剩余磁滯；

　　免工具安裝適配器；

　　超級不脹鋼結構設計獲得*的聚焦穩定性。

　　納米定位臺應用領(lǐng)域

　　表面結構分析；

　　自動(dòng)對焦系統；

　　共焦顯微鏡；

　　掃描干涉儀。

　　納米定位臺采用無(wú)摩擦無(wú)空回的柔性鉸鏈導向機構，采用有限元分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，具有超高的導向精度，定位精度可達納米級，分辨率達亞納米，毫秒級定位穩定時(shí)間，產(chǎn)品體積小巧，結構緊湊，易于集成到其他設備中。