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壓電偏轉鏡的特點(diǎn)說(shuō)明

更新時(shí)間： 2018-04-23

壓電偏轉鏡的特點(diǎn)說(shuō)明

　　產(chǎn)品特點(diǎn)：

　　外形尺寸：體積小巧、結構緊湊、φ25mm*56mm

　　行程：6mrad 分辨率：0.05μrad

　　采用無(wú)摩擦、無(wú)回差緊湊的差分式并聯(lián)結構柔性導向系統，具有超高的導向精度

　　內置高性能壓電陶瓷、高可靠性

　　內置位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，開(kāi)/閉環(huán)可供選擇，可提供安裝及出線(xiàn)方式

　　壓電偏轉鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)的傾斜鏡，壓電傾斜鏡內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)結構，采用有限元分析柔性鉸鏈結構,緊湊的差分并聯(lián)結構柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦、免維護等特點(diǎn)，壓電偏轉鏡內置精密位移傳感器進(jìn)行全閉環(huán)位置反饋，確保偏轉鏡具有的運動(dòng)控制精度、分辨率和穩定性，可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間僅為毫秒量級。緊湊型設計，可更好的集成光學(xué)系統中。

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