閉環(huán)壓電系統也是我們所說(shuō)的在壓電執行器內置位置檢測傳感器，通過(guò)外部控制器對檢測位置進(jìn)行實(shí)時(shí)修正調整的壓電系統。

上一期中我們介紹了什么是閉環(huán)線(xiàn)性度以及如何計算線(xiàn)性度，本期我們來(lái)說(shuō)說(shuō)重復定位精度。

重復定位精度表示的是連續多次到達位置的偏差。到達位置的前提條件必須是相同的輸入電壓。閉環(huán)控制器會(huì )通過(guò)傳感反饋的信號調整驅動(dòng)電壓使監測電壓與輸入電壓相同從而實(shí)現高精度閉環(huán)控制，此時(shí)多次所到位置的偏差為系統的重復精度。重復定位精度受系統預緊、驅動(dòng)系統、測量系統的非線(xiàn)性等因素影響。

P76壓電物鏡定位器的重復精度

重復定位精度的測試方法

控制指令重復定位到任意位置，采用高精度測微儀準確測量實(shí)際到達位置，至少連續10次以上，然后根據得到測量值計算標準偏差值。

重復定位精度的重要性

在很多精密定位應用領(lǐng)域中，重復定位精度至關(guān)重要，比如精密車(chē)削、樣品定位、3D精密檢測等，超高的重復定位精度確保了加工、定位、檢測精度。

高重復定位精度的壓電系統在生物制藥、生命科學(xué)、醫療診斷等領(lǐng)域同樣發(fā)揮著(zhù)非常重要的作用，比如內窺鏡三維成像、細胞三維光刻、納升配藥等。

不同壓電產(chǎn)品的重復性

重復定位精度只能在閉環(huán)控制系統進(jìn)行檢測。芯明天全系列壓電產(chǎn)品均可以選擇閉環(huán)版本，實(shí)現納米級的重復定位精度。重復定位精度的高低與所選擇配置的傳感器有關(guān)，滿(mǎn)行程不大于1mm的微動(dòng)壓電產(chǎn)品可選擇電阻式或電容式兩種傳感器。1mm以上大行程馬達式壓電平臺則采用的是光柵尺閉環(huán)傳感反饋。