我們所有的閉環(huán)壓電產(chǎn)品在參數表中均會(huì )列出線(xiàn)性度值，芯明天壓電產(chǎn)品的線(xiàn)性度通常在滿(mǎn)行程的0.02%-0.1%之間，那么我們該如何理解線(xiàn)性度這個(gè)參數呢？

理想的情況下，輸入信號（決定壓電陶瓷位置的信號）與輸出信號（實(shí)現的位移）應該是線(xiàn)性的。

線(xiàn)性度描述的是實(shí)際的位置與理想位置的接近程度。

閉環(huán)壓電產(chǎn)品內置的傳感器線(xiàn)性度參數是非常重要的。芯明天壓電產(chǎn)品可選擇電阻應變計傳感器或者電容傳感器。

根據靈敏度計算理想位置

根據監測電壓，理想位置可以按照以下公式計算：

舉例：

結合線(xiàn)性度通過(guò)靈敏度計算的位置

前面已經(jīng)闡述過(guò)，監測輸出電壓給出系統當前位置，通過(guò)靈敏度計算得到的位置會(huì )被非線(xiàn)性所改變。 

在閉環(huán)線(xiàn)性關(guān)系中，實(shí)際位置與理想位置之間的偏差即為非線(xiàn)性?；诒O測電壓，為了得到壓電陶瓷實(shí)際的位置，非線(xiàn)性必須要被考慮進(jìn)去。

舉例：

165nm的非線(xiàn)性使得239.396μm的位移將會(huì )被改變?yōu)?39.561μm或239.231μm，我們通過(guò)以下方式確定傳感系統的線(xiàn)性度，用滿(mǎn)幅值三角波驅動(dòng)控制壓電陶瓷，系統位置將會(huì )被內置的傳感器監測調整，外部采用激光干涉儀進(jìn)行位置檢測。

下圖為芯明天P11.X壓電納米定位臺的線(xiàn)性度曲線(xiàn)圖。

 與位置有關(guān)的數據比如線(xiàn)性度、重復度、控制電壓等可在出廠(chǎng)檢測報告中給出。