壓電精密定位控制——閉環(huán)系統
由于壓電陶瓷具有幾乎無(wú)限高的位移分辨率,因此它們非常適用于微米到納米級別的高精度定位。
但是由于壓電陶瓷存在遲滯特性與蠕變特性,使得給壓電陶瓷加載相同的電壓所產(chǎn)生的位移不同,也就是我們說(shuō)的遲滯與蠕變特性。
在很多的實(shí)際應用中,位移的高分辨率非常重要,但是的定位精度并不那么重要,非常典型的案例比如壓電移相器在干涉儀中的應用,通常要求移相器要具有非常高的分辨率,而定位精度并不重要。
另外一個(gè)例子就是應用中只需要零點(diǎn)與zui大位移的一個(gè)致動(dòng)過(guò)程,壓電陶瓷在每次致動(dòng)到zui大位移之后都回到零點(diǎn)位置,因此遲滯并不會(huì )影響所需要的性能。這時(shí)開(kāi)環(huán)控制足以滿(mǎn)足應用需求。
然而,有些應用則要求非常高的定位精度,這需要通過(guò)壓電陶瓷與傳感監測系統相結合來(lái)實(shí)現,由于高動(dòng)態(tài)性,壓電陶瓷非常適用于帶有傳感監測裝置的閉環(huán)系統。
芯明天的閉環(huán)壓電產(chǎn)品可以選擇不同的傳感監測系統,可以實(shí)現位移的定位精度是滿(mǎn)行程的0.02%-0.1%。對于一個(gè)滿(mǎn)行程10μm的納米定位臺來(lái)說(shuō),定位精度zui高可達2nm,更高的精度可以選擇電容傳感器,定位精度zui高可以達到滿(mǎn)行程的0.001%。
在使用閉環(huán)定位系統的時(shí)候需要注意,每個(gè)傳感閉環(huán)監測的位移都是被標定的線(xiàn)性位置。
但是若受到環(huán)境因素比如溫度的影響,傳感監測到的位置與實(shí)際要定位的位置之間的偏差量則無(wú)法監測到。
芯明天全部壓電產(chǎn)品均為自主研發(fā)設計,可選擇配置高可靠性傳感監測系統,配套我們開(kāi)發(fā)設計的帶有閉環(huán)控制系統的控制器,閉環(huán)控制是通過(guò)PID控制電路來(lái)實(shí)現實(shí)時(shí)調節的,實(shí)際監測到的位移可以顯示在屏幕上。
在具體應用中首先要確定是否需要閉環(huán)系統,以便選擇適合的致動(dòng)產(chǎn)品及控制器。
芯明天全系列壓電納米定位產(chǎn)品均可選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本,配套對應的開(kāi)環(huán)或閉環(huán)控制器產(chǎn)品。
如果您還不能確定需要開(kāi)環(huán)還是閉環(huán)產(chǎn)品以滿(mǎn)足您的應用,那就趕快與我們的銷(xiāo)售工程師取得吧。
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