*，由壓電陶瓷驅動(dòng)的壓電納米定位臺，可完成納米量級的步進(jìn)，并且，壓電納米定位臺的步進(jìn)是通過(guò)電壓信號控制，產(chǎn)生的總位移與電壓信號成線(xiàn)性關(guān)系。

此外，壓電納米定位臺也可產(chǎn)生出力，且出力也與電壓信號成線(xiàn)性關(guān)系。

通過(guò)芯明天壓電納米定位臺配合探針系統、力傳感器等搭建一套力閉環(huán)系統，從而可進(jìn)行較特殊、高精度的材料表面微加工。

力閉環(huán)控制的基本結構如下圖所示。

1. 芯明天P84壓電測微頭，進(jìn)行位置的粗精調節；

2. 芯明天XP-63X系列壓電納米定位臺，帶動(dòng)探針做微米級運動(dòng)，并控制探針與工件的接觸、接觸深度與分離；

3. 芯明天Z向宏動(dòng)臺，進(jìn)行位置的粗略調整；

4. 遮罩；

5. 彈性探針系統；

6. 表面光滑的待加工件；

7. 力傳感器，用于標定。

首先，通過(guò)芯明天壓電控制器驅動(dòng)控制壓電納米定位臺，使其位移從0逐漸升至大位移處，同時(shí)通過(guò)力傳感器將隨之變化的出力值進(jìn)行采集、記錄，對彈性探針系統及壓電納米定位臺產(chǎn)生的位移與出力間進(jìn)行標定。

標定好后，即可使用該系統進(jìn)行材料表面的微加工。