P13系列三維壓電納米定位臺內部采用的柔性鉸鏈導向機構，具有超高導向精度、負載能力大、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)。同時(shí)具有的控制精度，分辨率和穩定性可以達到納米量級，定位穩定時(shí)間為毫秒量級。壓電定位臺采用無(wú)磁材質(zhì)，在使用過(guò)程中不受磁場(chǎng)影響，體積小，結構緊湊，非常易于集成。

P13納米定位臺體積非常小巧，尺寸僅為35×35×36mm，非常易于集成到任何掃描儀器中。同時(shí)P13為超高精密納米定位系統，是為AFM、SPM、STM等顯微掃描等應用專(zhuān)門(mén)設計的，響應時(shí)間可達0.8ms，可配置高精度閉環(huán)傳感器進(jìn)行高分辨率高速掃描。

技術(shù)參數

推薦控制器

E01.D3
3路輸出

旋鈕、模擬、上位機通信

開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

平均功率7W/通道

E70.S3
3路輸出

模擬與數字控制

開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

平均功率5W/通道

E72.S3
3路輸出

模擬、上位機通信控制

開(kāi)環(huán)/閉環(huán)

平均功率6W/通道