P18.XY300S壓電掃描臺為二維XY運動(dòng)閉環(huán)直線(xiàn)掃描臺，采用機構放大設計原理，內部以高可靠性的壓電陶瓷為驅動(dòng)源，可以實(shí)現370μm/軸的高速掃描，通光孔徑為Ø35mm，非常適用于大行程多維掃描等應用。

特點(diǎn)

位移可達 370μm

承載可達1.5kg

通孔直徑：Ø35mm

閉環(huán)重復定位精度高

響應速度快

階躍時(shí)間

單點(diǎn)定位應用，P18.XY300S 帶載 100g 負載階躍時(shí)間 60ms。

配套控制器

P18.XY300S二維壓電掃描臺需要三個(gè)輸出通道的壓電控制器進(jìn)行驅動(dòng)控制，其中兩個(gè)通道為可變0~120V輸出，另一通道為120V恒壓輸出。P18.XY300S配套E72.D3S-I1壓電控制器，可滿(mǎn)足P18.XY300S的各項參數要求。

應用實(shí)例-納米光刻

在納米光刻實(shí)驗中需要對鏡片進(jìn)行高速微納米級的精密移動(dòng)，從而優(yōu)化鏡片讀取的信息。

芯明天P18.XY300以其大位移、高精度、高穩定性等優(yōu)點(diǎn)應用于納米光刻實(shí)驗。

典型應用

圖像處理與穩定

掃描顯微

干涉/計量

表面檢測

光學(xué)計量

半導體測量