壓電陶瓷剪切片是利用壓電陶瓷剪切向效應d ₁₅ ，通過(guò)施加正負電壓使得壓電陶瓷產(chǎn)生切向位移。

特點(diǎn)

±320V 驅動(dòng)

剪切運動(dòng)

單片位移1.5μm

可疊堆獲得大位移或XYZ三維

可切割

應用

激光腔調諧

振動(dòng)源

精密定位

微操作

AFM原子力顯微鏡

運動(dòng)方式

壓電剪切片一側具有切角，施加正壓的表面朝向切角方向運動(dòng)?？蓭лd負載如鏡片等，做橫向運動(dòng)。

技術(shù)參數

壓電剪切片安裝使用注意事項

剪切片的電極在上下表面。它可以通過(guò)機械夾持或膠水進(jìn)行固定安裝。

當用機械夾持固定時(shí)一定要控制剪切片的軸向力，太低的力會(huì )導致滑動(dòng)但太大的力又會(huì )損壞陶瓷。在合適的接觸面及較低的剪切力情況下，推薦1~3MPa的壓力。

在機械夾持下的運動(dòng)：

如果使用夾持力，負載機構在致動(dòng)方向的剛度應盡可能的低，以避免阻礙剪切片的運動(dòng)。

負載必須作用在整個(gè)表面，以確保力的均勻分布。特別是施加壓力時(shí)，接觸面一定要足夠平整。

接觸面必須與結構的其他部分絕緣?？梢酝ㄟ^(guò)加絕緣陶瓷片或聚酰亞胺絕緣薄膜實(shí)現。

優(yōu)選的膠水粘合的方法：

如使用膠水來(lái)固定剪切片，一定要確保剪切片與基片間的膠層非常薄，一般可以使用較低粘度的膠水，在固化過(guò)程應使用一定的壓力，例如2-3MPa.

環(huán)氧樹(shù)脂膠非常適合于粘貼壓電陶瓷。

電連接

外部電極：剪切片的兩個(gè)電極是一樣的。 工作方向通過(guò)切角來(lái)表明。

符號規定：給一面電極以正電壓，此表面將會(huì )朝著(zhù)切角邊緣方向產(chǎn)生一個(gè)相對的位移。

外部電極的連接可以通過(guò)機械接觸、焊接、導電膠粘或引線(xiàn)接合來(lái)實(shí)現。

機械連接可以通過(guò)一個(gè)銅彈簧與外部電極連接。剪切片上的金電極提供非常好的導電性能，同時(shí)避免了電極氧化。