P78 壓電掃描臺是專(zhuān)為生物醫療應用而設計的用于樣品顯微掃描的一維 Z 軸壓電掃描臺，它的外形結構易集成于顯微儀器設備中。

<<特點(diǎn)

· 一維 Z 向運動(dòng)

· Z 向分辨率可達4nm

· 通孔尺寸為120×70mm

· 行程范圍110μm

<<應用

顯微成像、生物技術(shù)、超分辨率顯微鏡、光學(xué)圓盤(pán)顯微鏡、共聚焦顯微鏡、3D 成像、篩選、干涉測量、測量技術(shù)、自動(dòng)聚焦系統、半導體測試等。

P78 壓電掃描臺對于納米范圍的對準、納米聚焦、測量等應用是非常理想的?？蛇x配橋式配置的閉環(huán)傳感器，可消除溫度漂移，保證了納米范圍的定位穩定性。同時(shí)，通過(guò)FEA 優(yōu)化了直線(xiàn)度與平面度，為運動(dòng)方向及垂直運動(dòng)方向上提供了較高的剛度。并聯(lián)運動(dòng)學(xué)設計，使其結構更緊湊、響應速度更快。

<<大通孔、大位移、高分辨、高精度

P78 系列壓電掃描臺，采用機構放大設計原理，可以實(shí)現Z軸110μm的位移行程。優(yōu)異的柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析進(jìn)行優(yōu)化實(shí)現納米級的分辨率、毫秒級的響應時(shí)間。

P78 系列壓電掃描臺可選擇配置閉環(huán)傳感器，對位移實(shí)現實(shí)時(shí)監測并反饋給閉環(huán)壓電控制器，實(shí)現納米級精密控制。掃描臺臺體中心通孔尺寸為120×70mmmm，適用于干涉、掃描、表面檢測等應用。

<<開(kāi)/閉環(huán)曲線(xiàn)

<<階躍時(shí)間

<<技術(shù)參數