P12 系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動(dòng)、1~3 維并聯(lián)式平移掃描臺，臺體中心圓形通孔孔徑可選 25mm 或 35mm，滿(mǎn)足顯微等應用。壓電掃描臺可以實(shí)現單軸 320μm 的位移行程，一體式結構使得多維運動(dòng)無(wú)耦合、多種規格型號可選，以滿(mǎn)足不同應用的需求。

特點(diǎn)

• 1~3 維

• 大位移 320μm

• 大承載 0.8kg

• 臺體中心通孔

• 閉環(huán)重復定位精度高

1~3 維掃描臺

P12 系列壓電納米定位臺為 1~3 維直線(xiàn)壓電掃描臺，包括 X、Z、XY、XZ、XYZ 等多種規格型號，通孔直徑 25mm 或 35mm 可選。

小體積、大位移、中心通孔

P12 系 列 壓 電 掃 描 臺 采 用 機 構 放 大設 計 原 理， 超 小 的 體 積 外 形， 尺 寸 僅 為60×60×24mm，可以實(shí)現大 320μm 的掃描范圍，中心通孔可選 25mm 或 35mm，35mm通孔對應臺體外形尺寸為 70×70×24mm。

臺體采用 FEA 有限元分析優(yōu)化設計，具有零摩擦、超高導向精度、納米級分辨率等優(yōu)點(diǎn)。P12 系列壓電掃描臺內置高可靠性表面絕緣壓電陶瓷，確保了掃描臺的可靠性與穩定性。

閉環(huán)穩定時(shí)間

P12 系列壓電掃描臺具有優(yōu)異的階躍穩定性，下圖為 P12.X100S 負載 125g 達大位移 110μm，閉環(huán)穩定時(shí)間約 20ms。

閉環(huán)線(xiàn)性度

開(kāi) / 閉環(huán)曲線(xiàn)

典型應用

• 掃描干涉

• 共焦顯微

• 晶圓定位

• 表面測量

• 圖像處理與穩定

• 光學(xué)捕獲

頻率負載曲線(xiàn)

技術(shù)參數

位移測量

出廠(chǎng)前使用電容測微儀進(jìn)行位移測量

應用案例

倒置顯微物鏡

P12.XYZ100S 應用于熒光顯微