壓電快反鏡是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向結構設計，外部機械結構通過(guò)內部多支壓電陶瓷的伸縮來(lái)實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，確保偏轉鏡具有的運動(dòng)精度和超高的穩定性，通過(guò)內置高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)控制，實(shí)現亞微弧度分辨率及微弧度定位精度。
壓電快反鏡采用經(jīng)過(guò)特殊設計的精密音圈電機作為驅動(dòng)，輸出力大、響應快、控制精度高；采用反射鏡及支撐結構一體化設計技術(shù)，降低了質(zhì)量/慣量、減小了體積，具有優(yōu)異的動(dòng)態(tài)特性；采用了轉軸構型優(yōu)化技術(shù)，使快反鏡具有良好的控制精度和閉環(huán)帶寬。
高速精密壓電偏轉鏡是為了滿(mǎn)足在光學(xué)成像和檢測系統中鏡子超快超精密定位的需求設計的。高速精密壓電偏轉鏡采用壓電陶瓷為驅動(dòng)，利用無(wú)摩擦的柔性鉸鏈導向系統，使偏轉鏡擁有體積小、無(wú)摩擦，定位精度高等優(yōu)點(diǎn)。
壓電快反鏡產(chǎn)品主要特點(diǎn)
亞微弧度的分辨率
超快響應時(shí)間
柔性鉸鏈導向系統
高的可靠性
高的帶寬
該偏轉鏡子只需要簡(jiǎn)單的固定到偏轉臺上，可提供2毫弧度的偏轉行程。在整個(gè)偏轉行程中可達到亞微弧度的分辨率。低的移動(dòng)質(zhì)量和優(yōu)異的控制系統可以提供的響應時(shí)間和和速度。
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