P17系列壓電掃描臺是專(zhuān)門(mén)為需要大通光孔徑、大位移行程的應用而研發(fā)設計的二維掃描臺。臺體采用機構放大設計原理，內置高可靠性壓電陶瓷，可以實(shí)現XY軸210μm的掃描范圍，通光孔為60×60mm，在樣品精密定位、掃描顯微、干涉等領(lǐng)域得到了廣泛的應用。

產(chǎn)品特點(diǎn)

• 位移可達210μm

• 承載可達1kg

• 通孔尺寸60×60mm

• 閉環(huán)重復定位精度高

• 響應速度快

產(chǎn)品應用

• 圖像處理與穩定

• 掃描顯微

• 干涉/測量

• 表面檢測

• 晶圓定位/微操作

大行程、響應速度快

P17系列壓電掃描臺為壓電陶瓷驅動(dòng)快速、高精度掃描臺，可以實(shí)現XY軸210×210μm的位移行程，優(yōu)異的結構設計無(wú)摩擦、導向精度高、響應速度快、快的響應時(shí)間可達5毫秒。

閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E00/E01系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩定性。臺體中心60×60mm大通孔，適合工業(yè)自動(dòng)化中的晶圓定位或微操作等應用。

頻率負載曲線(xiàn)

階躍時(shí)間

P17.X200S負載10g滿(mǎn)行程的響應時(shí)間約30ms。

開(kāi)閉環(huán)曲線(xiàn)

技術(shù)參數

應用實(shí)例

P17系列壓電掃描臺適用于需要大行程高精度的應用，該產(chǎn)品已經(jīng)成功應用于半導體測試、表面結構分析、顯微成像等領(lǐng)域。

與芯明天壓電物鏡定位器配套用于晶圓定位，可帶動(dòng)晶圓做XY軸210μm行程范圍的納米級精密定位。