P66.X60壓電納米定位臺以壓電陶瓷為驅動(dòng)源并采用直驅式驅動(dòng)機構的壓電位移平臺，是壓電與柔性鉸鏈相結合的納米定位系統，可達毫秒級響應、納米級定位精度，并可選配高精度傳感器進(jìn)行閉環(huán)精密定位控制。該產(chǎn)品非常適于定位應用，如干涉中光路徑長(cháng)度修正、顯微或掃描應用中的樣品定位等。

>>產(chǎn)品特點(diǎn)

• 一維X軸運動(dòng)

• 位移行程68μm

• 承載可達6kg

• 開(kāi)閉環(huán)可選

• 亞毫秒響應時(shí)間

>>典型應用

• 干涉/掃描

• 計量

• 質(zhì)量保證測試

• 微加工/精密控制

• 光盤(pán)驅動(dòng)測試

• 半導體技術(shù)

>>開(kāi)閉環(huán)版本可選

P66系列壓電納米定位臺可以選擇開(kāi)環(huán)或閉環(huán)版本，閉環(huán)版本壓電納米定位臺內部配有高分辨率及快速響應的應變傳感器（SGS），配備在驅動(dòng)機構的合適位置，它可向控制器反饋高帶寬、高精度的電壓信號。

傳感器使用全橋配置以消除熱漂移，使得該系列納米定位臺可以實(shí)現非常高的線(xiàn)性度與重復度。

>>閉環(huán)線(xiàn)性度曲線(xiàn)

>>標準連接器

驅動(dòng)與傳感的標準引線(xiàn)控制連接器分別為單芯LEMO連接器、四芯LEMO連接器，也可根據配套壓電控制器的接口類(lèi)型定制連接器。

>>技術(shù)參數