壓電促動(dòng)器具有納米級分辨率、亞毫秒級響應速度等特點(diǎn)，并且壓電促動(dòng)器及其控制器的體積小巧，非常易于集成至籠式結構中，進(jìn)行快速及高精度的光學(xué)路徑調整。

籠式結構白光干涉儀的體積小巧，將芯明天7VS12壓電促動(dòng)器及USB式壓電控制器集成于該設備中，可對白光中含有的各種光波長(cháng)的干涉做快速掃描。

7VS12 壓電促動(dòng)器參數：

• 位移：9µm

• 直徑：12mm

• 諧振頻率：40kHz

E63 USB式壓電控制器參數：

• USB供電

• 上位機軟件直觀(guān)控制

• 輸出電壓：150V

壓電促動(dòng)器分開(kāi)環(huán)與閉環(huán)兩種版本，其中開(kāi)環(huán)版本適用于動(dòng)態(tài)快速掃描、步進(jìn)；閉環(huán)版本內部配置有位移傳感器，非常適用于靜態(tài)或半靜態(tài)的位移運動(dòng)及保持。

對于籠式結構或其他結構的干涉儀應用，可根據光的波長(cháng)及步進(jìn)距離選擇壓電促動(dòng)器的位移等參數。

我們可提供該白光干涉的整套設備，在該設備基礎上，增加部分部件及算法，即可達到干涉測量的目的。