在計量學(xué)、超高分辨率顯微鏡、干涉測量等應用系統中，對定位精度有著(zhù)越來(lái)越高的要求，這就需要高性能的納米級壓電定位臺作為技術(shù)支持。為了實(shí)現納米級的精密定位，需要高精度的驅動(dòng)方式和傳動(dòng)方式，使定位臺達到納米級的位移分辨率。芯明天壓電納米定位臺利用壓電陶瓷作為驅動(dòng)元件，柔性鉸鏈機構作為傳動(dòng)裝置構成高精度定位系統可實(shí)現納米級精密定位。

       通常柔性鉸鏈摩擦的影響可以忽略不計，但是在納米定位要求中卻是相當重要而不可忽略。芯明天納米定位臺采用的是柔性鉸鏈機構的彈性形變。下圖是芯明天柔性鉸鏈在壓電機構中的應用，實(shí)現高分辨率以及大位移行程。

       柔性鉸鏈機構結構緊湊且無(wú)摩擦，適合與壓電陶瓷組成分辨率高、頻響高的超高精度納米定位臺。同時(shí)柔性鉸鏈機構還可以提供適當的預緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

       同時(shí)，壓電納米定位臺的行程也可通過(guò)機構放大式柔性鉸鏈放大。壓電陶瓷被集成在柔性接頭內，行程可擴展至毫米級。

芯明天壓電納米定位臺

       芯明天壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸的精密運動(dòng)，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學(xué)器件的定位與調整、生物顯微與光學(xué)顯微成像等系統。