PZT壓電移相器與菲索干涉儀!
菲索干涉儀作為工業(yè)上應用廣泛的表面輪廓檢測技術(shù)之一,它具有很多優(yōu)點(diǎn),如更高的測試靈敏度和準確度、非接觸式不會(huì )對被測件造成表面損傷、大量程范圍、抗干擾能力強、操作方便,因此在精密測量、精密加工和實(shí)時(shí)測控的諸多領(lǐng)域得到廣泛應用。
菲索干涉儀是由法國物理學(xué)家Hippolyte Fizeau(1819~1896年,他用旋轉齒輪法測出了光速,是個(gè)用非天文學(xué)方法成功測量光速的實(shí)驗)發(fā)明的,他是在研究以太的性質(zhì)時(shí)發(fā)明的這種光學(xué)儀器:菲索干涉儀。
菲索干涉儀用來(lái)檢驗加工后工件的研磨或拋光情況,如光學(xué)玻璃、精密研磨表面、卡規、精測塊規、測微器砧座等。
菲索干涉儀是利用光學(xué)干涉測量技術(shù),它是以光波干涉原理為基礎,以光的波長(cháng)為單位的一種計量測試方法。在利用菲索干涉儀檢測時(shí),工件的表面必須有足夠的反射光線(xiàn)強度,以便與菲索干涉儀的作用面反射光線(xiàn)相干涉,否則光強太弱,會(huì )無(wú)法分辨。
菲索干涉儀也稱(chēng)為光學(xué)平板,它的基本結構原理如下圖所示。
菲索干涉儀的基本結構
在被測面前有參考面,兩面間距非常近,以保證這兩個(gè)平面反射的光線(xiàn)具有相干性。作為參考的反光塊的上表面與下表面間很小的夾角,是用于保證上表面的反光不參與干涉條紋的形成。參考面與待測面的反光發(fā)生干涉后產(chǎn)生干涉條紋,由成像系統來(lái)接收。分析條紋的形狀就能確定待測面的表面情況是否有缺陷。
在菲索干涉移相干涉儀中,移相誤差的存在會(huì )極大地影響測量結果的準確性,為了保證移相步進(jìn)的精度,一般選用PZT壓電式移相器(PZT移相器)。
以下為搭建的一種單色點(diǎn)光源菲索干涉儀的移相結構,由PZT壓電移相器進(jìn)行移相步進(jìn)調整,成像系統進(jìn)行成像,同時(shí)在毛玻璃屏上可觀(guān)察干涉條紋情況。
毛玻璃上方的透鏡加入前可調節光斑的重合,加入后可觀(guān)察干涉條紋情況,便于初始化設置。
菲索干涉儀中的移相結構
PZT壓電移相器的作用是用于調節參考面的步進(jìn)移動(dòng),以便于采集多幅干涉圖像。
壓電移相器(PZT移相器)系統的工作原理
在初始化調節設置好后,開(kāi)始測量。PZT壓電移相器控制器發(fā)送電壓給PZT壓電移相器,使之按照的步數及步進(jìn)距離移動(dòng),當移相器到達某既定位置時(shí),會(huì )對圖像進(jìn)行一次采集,并存儲滿(mǎn)足移相算法要求的若干幅干涉圖,然后再由計算機根據采集到的干涉圖像進(jìn)行計算及面形求解。
精度菲索干涉儀的檢測約能到λ/20、λ/50,甚至λ/300。
芯明天P77系列壓電移相器用于菲索干涉儀
P77系列壓電移相器具有多種尺寸及參數,中心通孔由0~260mm范圍自由選擇,也可依要求進(jìn)行定制外形及通孔尺寸、位移、承載能力等。
P77系列壓電移相器各系列如下所示。
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