壓電物鏡位移臺用于掃描顯微成像!
壓電物鏡位移臺是專(zhuān)為驅動(dòng)物鏡頭進(jìn)行納米級快速步進(jìn)、掃描而設計的,它與壓電納米定位臺、壓電平臺具有相同的原理,與之不同之處是具有專(zhuān)門(mén)針對物鏡頭的特殊螺紋適配接口,非常便于物鏡頭的連接與固定。
從上圖中可看出,在外觀(guān)上,壓電平臺與壓電物鏡位移臺顯著(zhù)不同。
以芯明天P76壓電物鏡位移臺為例,它的外形類(lèi)似中空的圓柱形,結構內部采用對稱(chēng)式的驅動(dòng)機構,在內側中空位置固定物鏡頭,且物鏡螺紋適配器可根據客戶(hù)要求選擇或定制。
芯明天P76壓電物鏡位移臺
P76壓電物鏡位移臺的行程為100μm(1μm是一百萬(wàn)分之一米),它的分辨率可高達2.5nm(1nm為十億分之一米);它的承載能力為500g,并且它的掃描階躍時(shí)間可達2ms。配備閉環(huán)傳感器后,它的重復定位精度可達滿(mǎn)行程的0.02%。
閉環(huán)版本詳細參數如下。
型號:P76.Z100S
運動(dòng)自由度:Z
行程范圍(0~120V):80μm
行程范圍(0~150V):100μm
傳感器類(lèi)型:SGS
線(xiàn)性度:0.05%F.S.
重復定位精度:0.02%F.S.
推/拉力:70/10N
運動(dòng)方向剛度:0.8N/μm
空載諧振頻率:800Hz
空載階躍時(shí)間:5ms
10%行程空載工作頻率:400Hz
靜電容量:7.2μF
重量:520g
通過(guò)激光準直儀測量P76壓電物鏡位移臺運動(dòng)的直線(xiàn)性。
應用舉例
P76壓電物鏡位移臺應用于顯微掃描成像,以測量納米結構。
下圖應用中采用的是倒置使用壓電物鏡位移臺,顯微鏡與物鏡位移臺位于樣品的下方。該系統采用籠式結構組成,利用光學(xué)測量原理,通過(guò)P76位移臺的納米級高精度快速步進(jìn)掃描,可對納米結構進(jìn)行高精度的測量,該測量非常適于生物、醫療等應用,同時(shí)它也是納米加工中*的步驟。
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