壓電掃描臺應用于納米壓印
納米壓印是一種全新的納米圖形復制方法,實(shí)質(zhì)是將傳統的模具復型原理應用到微觀(guān)制造領(lǐng)域。它是通過(guò)將刻有目標圖形的母版壓印到相應的襯底(通常是一層很薄的聚合材料)上實(shí)現圖形轉移,以完成微納米加工的光刻步驟。納米壓印技術(shù)是制作納米結構的關(guān)鍵,具有廣闊的應用前景。
利用芯明天P18.XY300二維掃描臺,可帶動(dòng)鍍膜鏡片在0~300μm的平面內對讀取的圖像信息進(jìn)行優(yōu)化,同時(shí)控制激光器及掃描臺,二者配合完成圖像的納米精度加工。
下圖為通過(guò)芯明天運動(dòng)控制軟件操作二維壓電掃描臺,激光光刻的100μm×100μm圖標。
P18.XY300壓電掃描臺
P18.XY300為二維直線(xiàn)掃描臺。臺體采用機構放大設計原理,內置高可靠性壓電陶瓷,可以實(shí)現375μm的高速掃描,運動(dòng)直線(xiàn)性好,配套芯明天大功率控制器響應時(shí)間可達5ms,通光孔徑為Ø35mm,是精密加工、半導體制造、掃描顯微等應用的不錯選擇。
特點(diǎn)
·位移可達375μm/軸
·承載達3kg
·通孔直徑:Ø35mm
·閉環(huán)重復定位精度高
階躍時(shí)間
單點(diǎn)定位應用,P18.XY300S帶載100g負載階躍時(shí)間60ms。
技術(shù)參數
型號 | 尾綴S-閉環(huán)尾綴K-開(kāi)環(huán) | P18.XY300S P18.XY300K | 單位 |
運動(dòng)自由度 | X、Y | ||
標稱(chēng)行程范圍(0~120V) | 300或±150/軸 | μm±20% | |
行程范圍(0~150V) | 375或±187.5/軸 | μm±20% | |
傳感器類(lèi)型 | SGS/- | ||
通孔尺寸 | Ø35 | mm | |
閉/開(kāi)環(huán)分辨率 | 10/5 | nm | |
閉環(huán)線(xiàn)性度 | 0.2/- | %F.S | |
閉環(huán)重復定位精度 | 0.15/- | %F.S | |
俯仰/偏航/滾動(dòng) | <15 | μrad | |
推/拉力 | 150/150 | N | |
運動(dòng)方向剛度 | X0.5/Y0.5 | N/μm±20% | |
空載諧振頻率 | X250/Y500 | Hz±20% | |
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間 | 50/10 | ms±20% | |
閉環(huán)空載 工作頻率 | 10%行程 | 40 | Hz±20% |
行程 | 10 | ||
承載能力 | 3 | kg | |
靜電容量 | 21/軸 | μF±20% | |
材質(zhì) | 鋁 | ||
重量 | 380 | g±5% |
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