芯明天壓電物鏡定位器以壓電陶瓷為驅動(dòng)源，帶載物鏡做納米級步進(jìn)運動(dòng)，機構采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計，物鏡補償量小，具有良好聚焦穩定性。芯明天壓電物鏡定位器在結構上可分為三種類(lèi)型結構：高動(dòng)態(tài)型、大行程型及大負載型。

高動(dòng)態(tài)壓電物鏡定位器

該系列壓電物鏡定位器采用的平行四邊形設計原理，高剛度，可帶200g負載高速運動(dòng)。

大行程壓電物鏡定位器

該系列產(chǎn)品是大行程、高速、壓電陶瓷驅動(dòng)的聚焦顯微掃描裝置，產(chǎn)品體積小巧，位移行程可達500μm。

大負載壓電物鏡定位器

大負載壓電物鏡定位器具有承載力大、響應速度快、Z軸運動(dòng)直線(xiàn)性好等特點(diǎn)，可帶500g負載高速運動(dòng)。

應用領(lǐng)域 

光學(xué)顯微成像：

顯微光學(xué)成像，是指透過(guò)樣品或從樣品反射回來(lái)的可見(jiàn)光，通過(guò)一個(gè)或多個(gè)透鏡后得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)。壓電物鏡定位器可帶動(dòng)物鏡頭做Z向精密高速運動(dòng)，可使觀(guān)測精度達納米級。

白光干涉：

白光干涉技術(shù)以可見(jiàn)光為光源，光源發(fā)出的白光通過(guò)干涉物鏡后在半透射光學(xué)平面反射一半光強，另一半光強透射后照射在量測物表面并反射再次進(jìn)入干涉物鏡，與原光學(xué)平面的反射光產(chǎn)生干涉。搭配芯明天P73系列壓電物鏡定位器，準確性高可達納米解析度，垂直掃描高度可達500μm。

晶圓切割：

激光經(jīng)過(guò)透鏡聚焦，再通過(guò)壓電物鏡定位器調整焦點(diǎn)的位置，使焦點(diǎn)準確的定位在晶圓待切割部位，被切割部位溫度升高，然后使之熔化或汽化。隨著(zhù)激光與被切割材料的相對運動(dòng)，在切割材料上形成切縫從而達到切割的目的。