定制壓電納米運動(dòng)平臺
P63系列壓電納米運動(dòng)平臺為芯明天標準產(chǎn)品之一,它的標稱(chēng)行程范圍為5.5μm/軸,一至三維運動(dòng)自由度可選。
P63.XYZ-D1是基于P63系列進(jìn)行內部結構及外觀(guān)尺寸的微調整,將XY向的標稱(chēng)位移增大到了16μm,以滿(mǎn)足使用者對XY向更大運動(dòng)范圍的要求,既在成本上得到了很好的控制,又滿(mǎn)足了用戶(hù)使用的需求。
微調后的P63.XYZ-D1依然保持小體積的特點(diǎn),尺寸僅L40×W40×H42mm,易于集成。XY軸標稱(chēng)行程為16μm,Z軸標稱(chēng)行程為6μm。
P63.XYZ-D1閉環(huán)階躍時(shí)間圖(帶載)
P63.XYZ-D1壓電運動(dòng)平臺,在帶載100g負載的情況下,滿(mǎn)行程階躍時(shí)間約9ms。
P63.XYZ-D1技術(shù)參數
型號:P63.XYZS-D1
運動(dòng)自由度:XYZ
標稱(chēng)行程范圍(0~120V):XY 16μm,Z 6μm
行程范圍(0~150V):XY 18μm,Z 8μm
傳感器類(lèi)型:SGS
閉環(huán)分辨率:0.6nm
開(kāi)環(huán)分辨率:XY0.2/Z0.1nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:XY0.3%F.S. , Z1%F.S.
閉環(huán)重復度:0.5%F.S.
俯仰/偏航/滾動(dòng):≤15μrad
空載諧振頻率:XY2/Z1kHz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:8/0.5ms
承載能力:0.5kg
靜電容量:X、Y 1.8μF/ Z 0.8μF
Z軸閉環(huán)電壓與位移曲線(xiàn)
注:實(shí)際施加到壓電平臺的電壓為輸入控制電壓的12倍。
XY軸開(kāi)環(huán)電壓與位移曲線(xiàn)
注:實(shí)際施加到壓電平臺的電壓為輸入控制電壓的12倍。
位移測量
利用電容測微儀測量各軸運動(dòng)行程。
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