芯明天柔性鉸鏈壓電納米定位臺將壓電陶瓷與柔性鉸鏈機構相結合，使得其可達到亞納米級分辨率、百微米級位移行程及亞毫秒級響應時(shí)間。柔性鉸鏈機構具有高導向精度、結構緊湊且無(wú)摩擦，與壓電陶瓷相結合組成的分辨率高、頻響高的壓電納米定位臺，特別適合微納米定位、超高分辨率顯微鏡、激光通信等應用。同時(shí)柔性鉸鏈機構還可以提供適當的預緊，避免壓電陶瓷承受拉力，提高壓電納米定位臺的使用壽命。

1~3維線(xiàn)性壓電納米定位臺

高精度1~3維壓電納米定位臺以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X、Z、XY、XZ、XYZ軸的精密運動(dòng)，可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度。中心通孔版本，非常適用于透光精密光學(xué)器件的定位與調整、生物顯微與光學(xué)顯微成像等系統。

Z軸壓電物鏡定位器

芯明天壓電物鏡定位器是為物鏡聚焦顯微而設計，采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)導向機構設計，補償量小，具有較高聚焦穩定性。聚焦范圍可達500μm，負載可達500g。分立式螺紋設計，可適配多種型號的物鏡。物鏡定位器裝入顯微檢測或者觀(guān)測裝置可以帶動(dòng)鏡片聚焦提高精度。

柔性鉸鏈壓電偏擺臺/偏轉鏡

芯明天柔性鉸鏈壓電偏擺臺/偏轉鏡通過(guò)壓電陶瓷柔性鉸鏈相結合進(jìn)行精密角度調整，實(shí)現單軸或多軸角度偏轉運動(dòng)，補償量小，確保其具有較高的運動(dòng)精度和穩定性，可實(shí)現亞微弧度分辨率，特別適用于激光光束掃描及激光通信等應用。