P15 壓電掃描臺是快速、高精度的三軸掃描和納米定位臺，具有非常高的直線(xiàn)度。中心通孔66×66 mm，非常適于透射光應用，如近場(chǎng)掃描或共焦顯微鏡和掩模定位。P15 壓電掃描臺運動(dòng)行程為300μm/ 軸，它的內部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線(xiàn)切割撓曲鉸鏈結構。 FEA 使其設計具有盡可能高的剛度，并使線(xiàn)性和角度跳動(dòng)小化。

特點(diǎn)

• 三維運動(dòng) 

• 行程范圍為 300μm/ 軸 

• 可選配閉環(huán)傳感器

• 無(wú)摩擦、高精度撓性導向系統 

• 掃描平整度高 

• 通孔尺寸 66×66mm

應用

掃描顯微鏡、掩模 / 晶圓定位、干涉、度量衡學(xué)、生物技術(shù)、微操作等。

可選配閉環(huán)反饋傳感器

P15 壓電掃描臺可選配閉環(huán)反饋傳感器，可提供更高的定位精度，非常適合高精度定位應用。

技術(shù)參數

注：以上參數是采用 E00/E01 系列壓電控制器測得。大驅動(dòng)電壓可在 -20V~150V；對于高可靠的長(cháng)期使用，建議驅動(dòng)電壓在0~120V。

帶載階躍時(shí)間