壓電偏轉運動(dòng)與控制系統
P32系列壓電偏轉鏡提供兩軸θx、θy的高速精密偏轉運動(dòng)及Z 軸直線(xiàn)運動(dòng),直線(xiàn)運動(dòng)的分辨率可達亞納米級、偏轉分辨率達亞微弧度,響應時(shí)間可達毫秒量級。
特點(diǎn)
• θx, θy 偏轉,Z 軸升降
• 偏轉范圍達6mrad
• 毫秒級響應時(shí)間
• 閉環(huán)定位精度高
典型應用
• 圖像處理與穩定
• 光學(xué)捕獲
• 激光掃描與光束偏轉
• 激光調諧
• 光過(guò)濾/光開(kāi)關(guān)
• 光學(xué)/光束穩定
工作原理
P32壓電偏轉鏡是基于3個(gè)壓電陶瓷機構設計而成的,由三支壓電陶瓷驅動(dòng),以120°角平分放置,采用坐標變換,運動(dòng)可以分不同機構之間控制。這種結構設計除了可實(shí)現平臺的傾斜,也可實(shí)現平臺Z向的直線(xiàn)移動(dòng),可以用于校正光學(xué)路徑長(cháng)度。如下圖所示,A、B、C表示測量的3點(diǎn)處位移量,兩軸擺角及Z向位移的簡(jiǎn)便計算公式分別如下。
技術(shù)參數
型號:P32
運動(dòng)自由度:θx, θy, Z
θx, θy偏轉角度:5mrad@120V
θx, θy偏轉角度:6mrad@150V
Z向行程:30μm@120V
Z向行程:37.5μm@150V
傳感器類(lèi)型:SGS
閉/開(kāi)環(huán)偏轉分辨率:0.1/0.05μrad
閉/開(kāi)環(huán)直線(xiàn)分辨率:1/0.5 nm
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.05%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.02%F.S.
空載諧振頻率:2kHz
閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間:5/2ms
靜電容量:3.6μF/軸
材質(zhì):鋼
重量:350g
推薦控制器-E70壓電控制器
E70系列壓電控制器是一款小體積、大功率、低功耗、高帶寬、低紋波噪聲的3通道壓電陶瓷控制器。該控制器采用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力,通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精度與穩定性,可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度。
E70.D3S壓電控制器采用DC24V供電、集成數字與模擬控制功能、開(kāi)/閉環(huán)可選、RS-232/RS-422/USB通訊可選、集成式PZT&sensor迷你接口便于連接,外部可設定控制功能,操作簡(jiǎn)單便捷。
技術(shù)參數
型號:E70.D3S-I2
功能:數字與模擬集成式控制器
通道數:3
模擬輸入范圍:0-10V
輸出電壓范圍:0-120V(可選 0-150V)
第三通道恒壓輸出
峰值電流:1.1A/通道
平均電流:70mA/通道
放大器帶寬:10kHz/通道
輸出電壓紋波:5mV(2.2μF)
PZT連接器:ECG.1B.314(LEMO)
控制輸入連接器:SMB
傳感器類(lèi)型:SGS
Sensor輸出連接器:EPG.0B.304(LEMO)
傳感輸出紋波:10mV
通信接口:RS-232/422、USB
上位機軟件可二次開(kāi)發(fā)
工作溫度范圍:0-50℃
尺 寸:168.5×134×45.5mm
重 量:1.2kg
供電電壓:24V DC1.5A(36W)
具有過(guò)流保護
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