壓電陶瓷驅動(dòng)微定位偏擺臺在微納米技術(shù)領(lǐng)域應用廣泛，通常是所應用系統中的關(guān)鍵部件。芯明天壓電偏擺臺通過(guò)壓電陶瓷為驅動(dòng)源，內部采用無(wú)回差柔性鉸鏈并聯(lián)結構設計，進(jìn)行精密角度調整，具有體積小巧、結構緊湊、無(wú)機械摩擦、定位精度高等優(yōu)點(diǎn)，確保了產(chǎn)品具有良好的偏轉精度和穩定性且響應速度快，在激光光束掃描以及激光合束等領(lǐng)域擁有廣泛應用前景。

P54系列壓電偏擺臺

芯明天P54壓電偏擺臺是中心通孔二維θxθy軸壓電偏擺臺，采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈結構設計，響應速度快、閉環(huán)定位精度高，80×80mm中心大透空孔方便集成于顯微及掃描等光學(xué)系統中。

特點(diǎn)：

·  θx, θy偏擺運動(dòng)

·  開(kāi)環(huán)/閉環(huán)可選擇

·  80×80mm大通孔

·  分辨率高

·  外形薄

閉環(huán)傳感精度高：

P54系列壓電偏轉臺內部柔性鉸鏈導向機構采用有限元分析優(yōu)化，使角度偏移達到小，無(wú)空回、無(wú)摩擦。

采用壓電陶瓷驅動(dòng)實(shí)現大偏轉范圍±1mrad，分辨率高達0.05μrad，可選擇配置閉環(huán)傳感器實(shí)現0.1%F.S.的重復定位精度。

臺體非常薄，厚度僅為20mm，中心通孔尺寸為80×80mm，廣泛應用于亞微弧度精密光束調整、計量、定位等領(lǐng)域。

負載大鏡片：

P54壓電偏轉臺中心大通光孔達80×80mm，非常適用于需要透射光的應用，負載后仍可高動(dòng)態(tài)高精度的掃描。

頻率負載曲線(xiàn)：

階躍時(shí)間：

P54.T2S壓電偏擺臺，空載時(shí)到達滿(mǎn)行程的階躍時(shí)間約20ms。

技術(shù)參數：