如何選擇合適自己的壓電納米定位臺
壓電納米定位產(chǎn)品具有納米級分辨率及定位精度,集成到各種相關(guān)儀器及機械設備中,從而實(shí)現高精度納米級定位與運動(dòng)。了解壓電納米定位臺的基本工作原理及性能,來(lái)選擇適合您應用的壓電納米定位臺吧。
什么是壓電納米定位臺?
壓電納米定位臺是以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源,結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X/Z/XY/XZ/XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺。運動(dòng)范圍大可達375μm,具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn),配置高精度傳感器,可以實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有*的可靠性,壓電納米定位臺在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)至關(guān)重要的作用。
壓電納米定位臺性能
壓電納米定位臺采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構,可實(shí)現亞納米級分辨率。芯明天N60.X系列壓電納米定位臺,配套E53系列壓電控制,可實(shí)現0.5nm的步進(jìn)分辨率。
芯明天快速刀具定位臺采用大出力壓電陶瓷,大出力可達幾千牛頓,廣泛應用于精密加工等領(lǐng)域。壓電納米定位臺由容性壓電陶瓷驅動(dòng),響應時(shí)間可快至毫秒級。芯明天N65系列納米定位臺配套大功率E00/E01系列壓電控制器,可實(shí)現滿(mǎn)幅值階躍時(shí)間為1.5ms。平臺采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構,柔性導向系統具有超高的導向精度,具有高剛性、高負載、無(wú)磨損、免維護等特點(diǎn)。芯明天壓電納米定位產(chǎn)品標準驅動(dòng)電壓為0~120/150V,可產(chǎn)生大375μm位移行程。同時(shí)可以根據要求定制其他電壓驅動(dòng)版本。
驅動(dòng)控制系統
芯明天壓電陶瓷控制器通過(guò)模擬輸入或數字輸入控制,具有功率放大功能,且輸出電壓、輸出頻率可調。多種通道數及功能可選,可驅動(dòng)各種壓電類(lèi)產(chǎn)品,同時(shí)也可根據應用需求提供定制服務(wù)。
應用到那些領(lǐng)域
壓電納米定位臺帶動(dòng)鏡片做精密運動(dòng),配合顯微鏡完成對光纖端面質(zhì)量的干涉檢測實(shí)驗。
利用快速刀具定位器超精密制造技術(shù),實(shí)現光學(xué)非球面、自由曲面、微結構與其陣列的元件及模具納米級超精密加工。
閉環(huán)納米定位臺與原子力顯微鏡相結合,可以實(shí)現375μm的掃描范圍,分辨率為亞納米級,響應時(shí)間可達亞毫秒。
Z向壓電納米定位臺的作用是做納米級的微運動(dòng),精確調整待測物的位置,從而改變對應條紋的寬度及位置,以達到更精確的表面測量。
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