超高分辨率顯微鏡中的納米定位系統

芯明天P15系列XYZ壓電納米定位臺是用于超分辨率顯微鏡應用的多軸定位臺，通過(guò)閉環(huán)控制，可以實(shí)現亞納米級的高精度運動(dòng)，在XYZ平面上的行程范圍可達300微米。

P15內部采用有限元分析（FEA）優(yōu)化的線(xiàn)切割撓曲鉸鏈結構。FEA使其設計具有盡可能高的剛度，并使線(xiàn)性和角度跳動(dòng)小化。閉環(huán)版本采用高精度的傳感反饋，與E70系列閉環(huán)控制器配套使用，具有非常高的穩定性。臺體中心66×66mm大通孔，非常適合顯微成像、微操作等應用。

特點(diǎn)

• XYZ三維運動(dòng)

• 行程范圍：300μm/軸

• 無(wú)摩擦、高精度撓性導向系統

• 掃描平整度高

• 通孔尺寸：66×66mm

• 閉環(huán)階躍時(shí)間：60ms

• 閉環(huán)分辨率：13nm

• 承載能力：0.5kg

帶載階躍時(shí)間

閉環(huán)上升曲線(xiàn)，滿(mǎn)行程階躍時(shí)間60ms。

閉環(huán)壓電控制器

E70.D3S壓電控制器采用運放電路保證了高壓大電流的輸出能力，通過(guò)優(yōu)化傳感伺服模塊從而提高了PI調節與控制的精準度與穩定性，可靠的抗干擾設計保證了控制器的高頻響應速度。

技術(shù)參數

功能：數字與模擬集成式控制器

通道數：3

模擬輸入：0~10V

輸出電壓：0~120/150V

平均電流：70mA

帶寬：10kHz

傳感器類(lèi)型：SGS

伺服特性：P.I+低通+陷波

通信接口：RS-232/422、USB

工作溫度： 0~50℃

尺 寸：168.5×134×45.5mm

重 量：1.2kg

供電電壓：24V DC1.5A(36W)