P73系列壓電物鏡定位器為大行程壓電物鏡定位器，Z軸直線(xiàn)運動(dòng)范圍可選200μm、500μm及1mm。P73.Z200是P73系列中200微米行程的版本，它采用柔性鉸鏈設計機構，無(wú)摩擦、運動(dòng)直線(xiàn)性好，且閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，廣泛應用于大范圍顯微成像、雙光子顯微鏡等領(lǐng)域。

特點(diǎn)

行程200μm

承載能力0.2kg

毫秒級響應時(shí)間

閉環(huán)重復定位精度高

聚焦穩定性好

典型應用

三維成像

干涉/計量

生物科技

表面結構分析

共焦顯微

半導體測試

開(kāi)/閉環(huán)控制電壓與位移曲線(xiàn)

注：施加至壓電物鏡定位器的電壓約為控制輸入電壓的12倍。

螺紋適配器便于安裝

P73.Z200系列壓電物鏡定位器與物鏡之間通過(guò)適配器連接，將物鏡快速鎖定在預期位置。多種螺紋牙可選，如M27×0.75、M26×0.75、M26×1/36"、M25×0.75、W0.8×1/36" 等，也可定制，便于與顯微鏡集成安裝?？善ヅ洳趟?、尼康、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。它也可以通過(guò)適配器與手動(dòng)調節臺相結合使用。

技術(shù)參數

型號：P73.Z200S

運動(dòng)自由度：Z

標稱(chēng)行程范圍：160μm@120V
行程范圍：200μm@150V

傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：11/5nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.1%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.05%F.S.

推/拉力：80/10N

運動(dòng)方向剛度：0.25N/μm

空載諧振頻率：210 Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：20/10ms

閉環(huán)空載工作頻率：40Hz@10%行程

閉環(huán)空載工作頻率：10Hz@行程

承載能力：0.2 kg

靜電容量：7.2μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：360g

注：以上參數是采用E00/E01系列壓電控制器測得。大驅動(dòng)電壓可在-20V~150V；對于高可靠的長(cháng)期使用，建議驅動(dòng)電壓在0~120V。