我們知道壓電陶瓷的理論分辨率是可以達到無(wú)限小的，實(shí)際中取決于電源控制器和測試系統等因素。采用芯明天壓電控制系統，可達納米及亞納米級，適用于微納米范圍的高精度定位。

由于壓電陶瓷存在遲滯和蠕變的特性，所以在陶瓷上所施加的電壓和得到的位移并不是*線(xiàn)性的，它們之間存在微小的偏移。在定位精度要求非常高的應用中，我們使用閉環(huán)控制系統來(lái)進(jìn)行反饋控制。

閉環(huán)控制一般我們使用電阻應變計作為反饋傳感器，精度可以達到滿(mǎn)行程的0.1-0.2%，對于更高精度需求，可以采用電容和電感式傳感器。

我們開(kāi)發(fā)的陶瓷測量系統和集成閉環(huán)控制電路，通過(guò)PID調節電路控制閉環(huán)。并且可將測得的實(shí)際位置顯示在屏幕上，如下圖：

請注意：
    一般PZT壓電陶瓷配置傳感器是不能后添加的，需要提前跟隨系統結構裝配。因此，在訂購產(chǎn)品之前需要確定好，看是否需要閉環(huán)控制系統。

測量系統

壓電陶瓷遲滯和蠕變效應的影響限制了壓電致動(dòng)器的機械特性。在大多數應用中這些影響并不是十分重要的，而對于一些特殊的應用，如高精度的位移定位等，閉環(huán)系統則是比較重要的。閉環(huán)系統會(huì )測量出致動(dòng)器的位移，任何不理想的位置變化將通過(guò)閉環(huán)電路被校正。

我們一般采用以下幾種類(lèi)型傳感器：電阻式、電感式、電容式等。

電阻應變傳感器體積小巧，結構緊湊，幾乎可以集成到我們所設計的所有壓電產(chǎn)品中。電容式或LVDT傳感器則應用在更高精度要求或者動(dòng)態(tài)系統中。如何選擇傳感器的類(lèi)型，需要根據不同傳感系統的功能特性。

壓電陶瓷分辨率
    壓電效應是一個(gè)固態(tài)效應。在理論上分辨率是沒(méi)有限制的；也就是無(wú)限小的變化的電場(chǎng)產(chǎn)生一個(gè)無(wú)限小的機械位移。但是在現實(shí)中存在了一些限制分辨率的因素，例如電氣、機械、聲學(xué)和熱干擾等等。

機械：
    機械分辨率是根據致動(dòng)器的設計來(lái)決定的。我們設計的壓電致動(dòng)器系統均采用柔性鉸鏈設計。柔性鉸鏈結構在原理上是沒(méi)有機械間隙的，也不產(chǎn)生摩擦，因而機械分辨率是無(wú)限的。

電氣：
    在操作過(guò)程中分辨率表示壓電致動(dòng)器位移多少，如果沒(méi)有位移即表示控制器的輸出電壓保持不變。這個(gè)位移是由輸出電壓的輸出能力所決定的。例如在150V時(shí)的行程為100μm，0.3mV的電壓噪聲意味著(zhù)壓電致動(dòng)器分辨率為0.2 nm。

分辨率=行程·電氣噪聲/電壓范圍
   對于閉環(huán)模式中的分辨率，我們必須考慮測量系統的噪聲。此值取決于所使用的壓電致動(dòng)器、測量系統、調整后的控制參數和功率放大器等方面。

請注意：

高的定位分辨率需要非常穩定的測試條件, 否則環(huán)境條件將決定實(shí)驗的分辨率。

良好的測試條件至少包括：

•良好的接地環(huán)境  •遠離電磁場(chǎng)  •振動(dòng)隔離  •穩定的溫度條件