P76.Z50S/KA為小體積大負載Z軸壓電物鏡定位器，高度尺寸僅為37.5mm，負載能力可達500g，Z軸可實(shí)現50μm的直線(xiàn)運動(dòng)范圍，采用柔性鉸鏈設計機構，無(wú)摩擦，直線(xiàn)性好，閉環(huán)版本定位精度高。分離式螺紋適配器設計，可適配多種型號的顯微鏡，是顯微成像、晶圓切割等應用的理想選擇。

特性

• 行程可達50μm

• 承載能力500g

• 毫秒級響應時(shí)間

• 閉環(huán)重復定位精度高

• 聚焦穩定性好

大負載 高頻響 高分辨率

P76.Z50S/KA是為了實(shí)現大負載、大孔徑物鏡在現代高分辨率顯微應用中達到超快的階躍時(shí)間而專(zhuān)門(mén)設計。堅固的設計使其即使帶載幾百克的物鏡也可以實(shí)現非?？斓姆€定時(shí)間及掃描頻率。多個(gè)壓電驅動(dòng)器的旋轉對稱(chēng)排列及撓曲和杠桿元件的優(yōu)化設計，使它具有較高的剛度，同時(shí)保證了優(yōu)異的導向精度和動(dòng)態(tài)性。負載能力達500g，可兼容多光子顯微和共聚焦顯微應用中常用的大視場(chǎng)物鏡，也可匹配蔡司、奧林巴斯、徠卡等多種標準鏡頭。

閉環(huán)階躍時(shí)間

P76.Z50S/KA壓電物鏡定位器帶載500g，滿(mǎn)行程階躍時(shí)間約20ms。

技術(shù)參數

型號：P76.Z50S/KA

運動(dòng)自由度：Z

行程范圍（0~120V）：40μm

行程范圍（0~150V）：50μm

閉環(huán)傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：5/2.5nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.05%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.02%F.S.

推/拉力：35/10N

運動(dòng)方向剛度：0.8N/μm

空載諧振頻率：800Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：5/2ms

承載能力：0.5kg

靜電容量：3.2μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：510g