S38系列小體積、高動(dòng)態(tài)壓電偏轉鏡
特性
· θx、θy 二維偏轉
· 可選行程1.5或3mrad
· 小體積,外徑僅20mm
· 高諧振頻率
高動(dòng)態(tài)、高穩定性、閉環(huán)高精度
S38偏轉鏡結構緊湊,內部裝配帶有預緊的高可靠性壓電促動(dòng)器,集成在柔性鉸鏈導向系統,提供了更好的性能及可靠性。在機械結構的合適位置采用應變傳感器來(lái)得到定位精度,同時(shí)他們提供了較高的帶寬并向控制器發(fā)送定位反饋信號,傳感器以橋式配置連接以消除熱漂移從而確保優(yōu)質(zhì)的穩定性。
開(kāi)/閉環(huán)曲線(xiàn)
S38.T1開(kāi)/閉環(huán)曲線(xiàn)。
閉環(huán)線(xiàn)性度曲線(xiàn)
S38.T1S閉環(huán)線(xiàn)性度曲線(xiàn)。
技術(shù)參數
型號:S38.T1
運動(dòng)自由度:θx、θy
行程范圍@120V:1.2mrad/軸
行程范圍@150V:1.5mrad/軸
閉環(huán)傳感器:SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨率:0.5/0.02μrad
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.3%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.1%F.S.
空載諧振頻率:7000Hz
靜電容量:1.6μF/軸
重量:50g(不含線(xiàn))
型號:S38.T2
運動(dòng)自由度:θx、θy
行程范圍@120V:2.4mrad/軸
行程范圍@150V:3mrad/軸
閉環(huán)傳感器:SGS
閉/開(kāi)環(huán)分辨率:1/0.04μrad
閉環(huán)線(xiàn)性度:0.4%F.S.
閉環(huán)重復定位精度:0.2%F.S.
空載諧振頻率:2000Hz
靜電容量:3.6μF/軸
重量:60g(不含線(xiàn))
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