壓電納米定位臺具有移動(dòng)面，是通過(guò)帶有柔性鉸鏈的機械結構將壓電陶瓷產(chǎn)生的位移及出力等進(jìn)行輸出，分直驅與放大兩種結構。以壓電陶瓷作為驅動(dòng)源，結合柔性鉸鏈機構實(shí)現X軸、Z軸、XY軸、XZ軸、XYZ軸精密運動(dòng)的壓電平臺，驅動(dòng)形式包含壓電陶瓷直驅機構式、放大機構式。運動(dòng)范圍可達500μm，具有體積小、無(wú)摩擦、響應速度快等特點(diǎn)，配置高精度傳感器，可實(shí)現納米級分辨率及定位精度且具有較高的可靠性，在精密定位領(lǐng)域中發(fā)揮著(zhù)主要作用。
近年來(lái)，由于光通信技術(shù)飛速發(fā)展，光纖連接器作為光通信的基本的光源器件，所以對其質(zhì)量及可靠性有了更嚴格的要求。為了提高光纖連接及光信號傳輸的效率，因此光纖端面的檢測至關(guān)重要。
為得到光纖端面的三維參數，通常根據光學(xué)干涉來(lái)進(jìn)行測量。其中由壓電陶瓷控制器控制的壓電納米定位臺用于移動(dòng)3D干涉儀系統中米羅的干涉物鏡或光纖連接器以產(chǎn)生位相移動(dòng)，分5步位相移動(dòng)，每移動(dòng)一步后由CCD攝像頭讀取干涉條紋。
壓電納米定位臺內部采用無(wú)摩擦柔性鉸鏈導向機構，一體化的結構設計。機構放大式驅動(dòng)原理，內置高性能壓電陶瓷，可實(shí)現100μm位移。閉環(huán)版本定位精度可達納米級。采用有限元仿真分析優(yōu)化柔性鉸鏈結構，柔性導向系統具有超高的導向精度，具有高剛性、高負載、無(wú)摩擦等特點(diǎn)。
此外，壓電納米定位臺還可用于：
光路調整；
納米操控技術(shù)；
納米光刻，生物科技；
激光干涉；
CCD圖像處理；
納米測量、顯微操作；
納米壓印、納米定位；
顯微成像，共焦顯微。
