壓電促動(dòng)器內部集成高可靠性壓電陶瓷,可實(shí)現納米級分辨率,位移行程可達260微米,微秒級響應時(shí)間,外部由柱形不銹鋼外殼保護。較高的內部機械預載力可適用于高負載、高動(dòng)態(tài)應用。出力達50000N,使壓電促動(dòng)器非常適于腔調諧、主動(dòng)振動(dòng)、減震抑震或自適應力學(xué)。同時(shí),小體積、高諧振頻率等特點(diǎn)又使其非常適于掃描顯微、光束偏轉、精密加工或顯微光刻等應用。
壓電促動(dòng)器應用領(lǐng)域:
超導腔調諧
通過(guò)諧振器在軸向拉伸超導腔,改變加速間隙的大小,控制超導腔的頻率。通過(guò)機械調諧進(jìn)行頻率的粗調后,當超導腔的頻率接近所需要的頻率時(shí),通過(guò)壓電陶瓷促動(dòng)器對頻率進(jìn)行微調。利用的是壓電陶瓷促動(dòng)器的大出力、微位移的特性。
微細電火花加工
采用微細電火花加工微小孔過(guò)程中會(huì )產(chǎn)生很多碎屑,這會(huì )嚴重影響電火花加工的精準度及加工速度。設備中采用壓電促動(dòng)器,利用其微納米級位移,高頻振動(dòng),大出力等特性將加工產(chǎn)生的碎屑進(jìn)行有效的清除,起到優(yōu)異的導屑作用。
減震抑震
震動(dòng)是很多機械系統中需要避免或消除的,如航空航天、汽車(chē)行業(yè)等。在震動(dòng)監測系統中監測到震動(dòng)時(shí),通過(guò)給壓電促動(dòng)器施加電信號,使壓電促動(dòng)器隨之產(chǎn)生與震動(dòng)方向相反的位移,從而抵消震動(dòng)。