可見(jiàn)光的波長(cháng)一般在390nm至780nm范圍，而光學(xué)顯微技術(shù)利用的是物鏡對光的聚焦，以達到盡可能高的亮度范圍，從而獲取盡可能清晰的圖像。高分辨率顯微成像的景深一般為微米級或亞微米級，這在定位到景深范圍內后，Z向調焦的過(guò)程將需要更高的定位精度，尤其對成像精度要求非常高的應用，例如多光子熒光顯微鏡、光學(xué)相干斷層成像術(shù)、晶圓檢測等，都要求納米級定位精度！

用過(guò)壓電產(chǎn)品的用戶(hù)，一般都了解壓電產(chǎn)品的位移，一般在幾微米到幾百微米不等。但為了實(shí)現更大范圍的Z向聚焦，芯明天設計了P73.Z1000系列壓電物鏡定位器，該物鏡定位器具有1mm（=1000μm）的運動(dòng)范圍，不僅滿(mǎn)足了大范圍調焦應用，而且提供了納米級的定位精度！

P73.Z1000系列壓電物鏡定位器是采用PZT壓電陶瓷驅動(dòng)，因此具有PZT壓電陶瓷的很多優(yōu)點(diǎn)，它的響應速度快，在毫秒量級，并且具有納米級的分辨率，可提供納米級高精度的物鏡定位驅動(dòng)，從而達到納米精度的聚焦。同時(shí)，采用內置閉環(huán)反饋傳感器，又解決了PZT壓電陶瓷的遲滯與蠕變的問(wèn)題。

P73.Z1000系列壓電物鏡定位器既吸收了壓電陶瓷的優(yōu)點(diǎn)，同時(shí)去除了壓電陶瓷的弊端，為高分辨率顯微成像、激光聚焦等應用提供了便捷而有力的工具！此外，P73.Z1000系列壓電物鏡定位器的安裝非常便捷，采用螺紋安裝，螺紋適配標準物鏡，也可選擇定制安裝螺紋。

P73.Z1000S技術(shù)參數

運動(dòng)軸：Z向

標稱(chēng)行程范圍：800μm@120V

行程范圍：1000μm@150V

傳感器類(lèi)型：SGS

閉/開(kāi)環(huán)分辨率：36/10nm

閉環(huán)線(xiàn)性度：0.5%F.S.

閉環(huán)重復定位精度：0.3%F.S.

推/拉力：20/5N

運動(dòng)方向剛度：0.02N/μm

空載諧振頻率：110Hz

閉/開(kāi)環(huán)空載階躍時(shí)間：50/25ms

承載能力：0.2 kg

靜電容量：43.2μF

材質(zhì)：鋼、鋁

重量：786g